SJT 31094-1994 CLP-30陶瓷劈刀研磨机完好要求和检查评定方法
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ID： |
5DB9CFD2CF774EB2902DE55DF4B3C2E3 |
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文件大小(MB)： |
0.19 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31094 94,GLP 30型陶瓷劈刀研磨机完好要求,和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了半导体电路生产用GLP-3O型陶瓷劈刀研磨机的完好要求和检査、评定方,法,本标准适用于GLP—30型陶瓷劈刀研磨机,其它型号的劈刀研磨机也可参照执行,2完好要求,2.I 主要技术指标,2.1.1 加工件端面尺寸控制精度:±5f/m,2.1.2 性能要求,a.无级变速电机速度误差:16.100r/min, 士 5%,b.定时开关:〇.15min,±5s,2.2 传动系统,2.2 -1研磨盘运转平稳,其它各转动部分运行良好,2.2.2各轴承部位润滑良好,运转灵活,无卡死现象,2.3 电气系统,2 . 3-1设备各操作开关完好,电源指示灯齐全,指示正确,2 .3.2无级调速装置,调速应平稳可靠,2 - 3-3 (0.15)min定时准确,2.3 -4电气线路完好无损,绝缘可靠、各防护罩齐全,安全可靠,2.4 安全防护,2-4-1各防护盖板齐全,完整、安装牢固、外壳接地可靠,2.5 维护保养,按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3 .检查,评定方法,3.1 检査方法,3-1-1主要技术指标完好要求2.1.1项,对加工件用微米表在专用夹具上进行检测。2.1. 2,项无级变速电机用计数表、秒表进行检测,对定时开关用秒表对时,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,1,SJ/T 31094-94,3.1.2对其它项目均为主观检査,3-2评定方法,3.2.1.,3. 2.2,设备,3. 2.3,主要项目有2.1.1项,2.1. 2项、其余均为次要项目,主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:赵杏春、朱文晓、顾军建,2……
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